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簡要描述:20nm 臺式X射線源 脈寬 7 ns是Tingen在激光實驗室開發(fā)的,由高脈沖能量YAG激光器(1064nm,800mJ,7ns)聚焦于氣體電離產(chǎn)生。不同的目標(biāo)氣體對應(yīng)不同的能譜分布。
產(chǎn)品分類
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品牌 | 其他品牌 | 價格區(qū)間 | 面議 |
---|---|---|---|
組成要素 | 自由電子激光器 | 產(chǎn)地類別 | 進口 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,建材,電子 |
激光源產(chǎn)生的紫外/軟X射線輻射是Tingen在激光實驗室開發(fā)的,由高脈沖能量YAG激光器(1064nm,800mJ,7ns)聚焦于氣體電離產(chǎn)生。不同的目標(biāo)氣體對應(yīng)不同的能譜分布。
● 低殘留
● 高EUV能量(3.5 MJ)
● 低耗氣量(氣體脈沖持續(xù)時間:<1 ms)
● 簡單目標(biāo)氣體交換
● 桌面系統(tǒng)
● 計量:反射測量、吸收
● 光譜學(xué)(nexafs)
● 光學(xué)/傳感器測試
● EUV損壞調(diào)查
● 材料相互作用基礎(chǔ)研究
● 水窗顯微鏡(λ=2..4納米)
參數(shù) | 單位 | 指標(biāo) |
產(chǎn)品編號 | EUV-B-XRAY | |
工作波長 | nm | 20nm |
脈寬 | ns | 7 |
脈沖能量(Xe) | mJ | 3.5(4π sr, 2% BW) |
轉(zhuǎn)換效率 | % | 0.45 |
等離子形狀 | NA | ? ~ 300 µm |
重復(fù)頻率 | HZ | 10 |
測試數(shù)據(jù)展示:
產(chǎn)品咨詢