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光腔衰蕩光譜技術（CRDS）是上個世紀年代發(fā)明的一種氣體吸收光譜檢測技術，通過一對反射率超過99.99%的高反鏡組成一個光諧振腔，大大地提升了光在腔內(nèi)的反射次數(shù)，也就提高了待測氣體的吸收光程，根據(jù)光在腔內(nèi)的衰蕩時間來檢測腔內(nèi)的待測氣體濃度，很容易就能達到1ppm以內(nèi)的精確度。并且，激光在腔內(nèi)的衰蕩時間僅與腔鏡反射率和氣體吸收系數(shù)相關，與激光的功率穩(wěn)定性無關，這也是CRDS相較其他氣體檢測技術的優(yōu)點。
CRDS的基本原理如下圖所示,激光從準直頭發(fā)出，通過第一個高反鏡后，大部分光被反射，透過的光在諧振腔中來回振蕩，振蕩次數(shù)可達上萬次，很大程度上增加了吸收光程。根據(jù)Lambert-Beer定律，當一束入射光進入諧振腔開始衰蕩后，PD探測器探測到光信號呈指數(shù)衰減，一直到光功率信號衰減至初始信號的1/e，這段時間就是腔衰蕩時間。
腔衰蕩時間用公式表示為：
其中L表示腔長，α表示氣體吸收系數(shù)，C表示氣體濃度，c表示光速，R表示腔鏡反射率。當R十分接近100%時，InR可以化簡為1-R，因此，在99.99%反射率的諧振腔中，腔衰蕩時間可以化簡為：
我們采用1653.7nm的DBF激光二極管作為光源，進行了CH4氣體探測的腔衰蕩光譜實驗，通過可調(diào)的7.5mm準直透鏡調(diào)節(jié)入射諧振腔的光斑。腔長為0.5m，一對高反腔鏡的反射率均大于99.99%，曲率半徑為1m，計算可得，腔內(nèi)諧振的光束腰半徑應為0.477 mm，在腔的正中心，并以此反推出入射光的束腰點和束腰半徑。然后通過光斑分析儀觀察入射光，調(diào)節(jié)準直透鏡的距離和準直頭與入射腔鏡的距離，使得符合計算結果。
諧振腔通光后，以5Hz的速率掃描二極管激光器的電流，使得光頻能掃過至少一個自由光譜程，此時探測器已經(jīng)可以探測到空腔衰蕩信號，微調(diào)腔鏡角度，將衰蕩信號調(diào)至最大，如下圖所示：
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